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高分辨率、高靈敏度光致產酸劑的研發及產業化

分類 : 技術

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日期 : 2022-09-16

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更高分辨率和靈敏度的光致產酸劑是全球光刻膠產品發展的一大趨勢,所要解決的關鍵技術問題是,光致產酸劑的質量穩定性、分辨率、靈敏度問題。 主要技術經濟指標 產品指標 單位 指標要求 1)色譜純度 area% ≥ 99.9 2)殘留溶劑含量 wt% ≤ 0.10 3)水分含量 wt% ≤ 0.10 4)總酸 mol/kg ≤ 0.002 5)總堿 mol/kg ≤ 0.002 6)金屬離子含量 ppb ≤ 10

技術信息

信息分類 成果 愿意合作方式 技術正在推廣
成果成熟度類型 合作開發 有效截止時間
交易狀態 正在研發

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